空气净化工程|净化厂房工程
空气净化工程主要包括以下几方面:
1.10万-10级无尘室空气净化工程设计、安装
2.中央空调设计、安装
3.恒温恒湿及自控工程
4.设备、动力、照明配电系统设计、安装
5.压缩空气、超纯气体、纯水等工艺管道的设计、安装
6.环氧树脂、防静电PVC、铸铝、全钢地板工程
空气净化工程是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。
所谓的空气净化厂房是一个人造的环境,里面含有的粒子远低于一般的环境,随着集成电路技术的快速成长,也增加了对制造环境洁静度的需求,在工业上即使粒子之尺寸小于1微米,也可能阻碍产品的运作或降低其寿命。
由于奈米技术的兴起,造成半导体关键尺寸持续缩小,集成电路积集度不断的增加,尘粒更容易使芯片失效或可靠度恶化。例如当金属尘粒地落到金属导线时,就可能会使金属导线形成短路。又如果有酸性的离子化合物尘粒掉在金属导线上,可能将其腐蚀,所以东莞无尘车间为集成电路制造不可或缺的要素。
净化厂房亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。无尘车间最主要之作用在于控制产品所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为(无尘室/无尘车间)。
空气净化厂房工程建筑方式可分为土建结构和装配式两种,其中普遍采用装配式。
装配式净化厂房系统主要由初,中,高三级空气过滤的空调送风回风和排风系统;动力及照明系统;
工作环境参数的监测报警消防和通讯系统;人流和物流系统;工艺管路系统;维护结构及静电地面处理等各方面所要求的实施内容组成,形成空调净化系统工程所包含的整个设备和器材的配套和建筑安装内容。
净化厂房最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为净化厂房。
按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。
当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微,但是对于光学构造而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响,所以在光学构造产品的生产上,无尘是必然的要求。
净化厂房的构成:
净化厂房的构成是由下列各项系统所组成(在所组成的系统分子中是缺一不可的),否则将无法构成一完整且品质良好的净化厂房:
(1)天花板系统:包括吊杆(Ceiling rod)、纲梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁(Ceiling grid或Ceilingframe)。
(2)空调系统:包括空气舱、过滤器系统、风车等。
(3)隔墙板(Partitional wall):包括窗户、门。
(4)地板:包括高架地板或防静电舒美地板。
(5)照明器具:包括日光灯、黄色灯管等。
电子净化厂房净化厂房之建筑主体构造,一般是用钢筋或骨水泥,但无论是何种构造,必须满足如下之条件:
A.不会因温度变化与振动而发生裂痕;
B.不易产生微尘粒子,且很难附着粒子;
C.吸湿性小;
D.为了维持室内之湿度条件,热绝缘性要高;
附空气净化厂房洁净度标准
单向流(1—100级)净化厂房
1—100级的净化厂房,均采用单向流的气流组织送风方式,即净化厂房内的气流在同一截面的任一点,气流的方向和速度均保持一致,这样可以使净化厂房气象“活塞”一样,将室内的尘埃粒子以最快的速度带走。
要实现“活塞”的效果,高效过滤器需要满布屋顶才可以实现单向流的气流组织方向。
非单向流(1000—10万级)净化厂房
1000—10万级净化厂房的气流组织方向和100级以上的净化厂房不同,室内的气流是以不均匀的速度呈不平行流动,伴有回流或涡流,它主要靠洁净的气流不断稀释室内空气,将室内的污染逐渐排出,来实现净化。
不同的净化等级,主要是依靠单位时间内所送风量的不同来表现的。
美国联邦标准(USA Federal Standard)209E(1992年)
洁净度级别 |
粒径(um) |
||||
|
0.1 |
0.2 |
0.3 |
0.5 |
5.0 |
1 |
35.0 |
7.50 |
3.00 |
1.00 |
NA |
10 |
350 |
75.0 |
30.0 |
10.0 |
NA |
100 |
NA |
750 |
300 |
100 |
NA |
1000 |
NA |
NA |
NA |
1000 |
7.0 |
10000 |
NA |
NA |
NA |
10000 |
70.3 |
100000 |
NA |
NA |
NA |
100000 |
700 |
单位:尘埃数量个/ft3
中国药品生产净化厂房(区)的空气洁净度标准
洁净度级别 |
尘埃最允许数/平方米 |
微生物最大允许数 |
||
|
≥0.5um |
≥5um |
浮游菌个/立方米 |
沉降菌个/皿.30min |
100 |
3500 |
0 |
5 |
1 |
10000 |
350,000 |
2,000 |
100 |
3 |
100000 |
3,500,000 |
20,000 |
500 |
10 |
300000 |
10,500,000 |
61,800 |
NA |
15 |
国家药品监督管理局1999年8月1日发布实施
基于≥0.5um粒径的各国洁净度等级近似对照表
个/M3≥0.5um |
ISO |
US |
US |
EEC |
FRANCE |
GERMANY |
JAPAN |
1 |
- |
- |
- |
- |
- |
- |
- |
3.5 |
2 |
- |
- |
- |
- |
0 |
2 |
10.0 |
- |
M1 |
- |
- |
- |
- |
- |
35.3 |
3 |
M1.5 |
1 |
- |
- |
1 |
3 |
100 |
- |
M2 |
- |
- |
- |
- |
- |
353 |
4 |
M2.5 |
10 |
- |
- |
2 |
4 |
1,000 |
- |
M3 |
- |
- |
- |
- |
- |
3,530 |
5 |
M3.5 |
100 |
A+B |
4,000 |
3 |
5 |
10,000 |
- |
M4 |
- |
- |
- |
- |
- |
35,300 |
6 |
M4.5 |
1,000 |
1,000 |
- |
4 |
6 |
100,000 |
- |
M5 |
- |
- |
- |
- |
- |
353,000 |
7 |
M5.5 |
10,000 |
C |
400,000 |
5 |
7 |
1,000,000 |
- |
M6 |
- |
- |
- |
- |
- |
3,530,000 |
8 |
M6.5 |
100,000 |
D |
4,000,000 |
6 |
8 |
10,000,000 |
- |
M7 |
- |
- |
- |
- |
- |
净化厂房及洁净区空气中悬浮粒子洁净度等级
空气洁净度等级(N) |
大于或等于表中粒径的最大浓度限值(pc/m3) |
|||||
|
0.1um |
0.2um |
0.3um |
0.5um |
1um |
5um |
1 |
10 |
2 |
|
|
|
|
2 |
100 |
24 |
10 |
4 |
|
|
3 |
1000 |
237 |
102 |
35 |
8 |
|
4 |
10000 |
2370 |
1020 |
352 |
83 |
|
5 |
100000 |
23700 |
10200 |
3520 |
832 |
29 |
6 |
1000000 |
237000 |
102000 |
35200 |
8320 |
293 |
7 |
|
|
|
352000 |
83200 |
2930 |
8 |
|
|
|
3520000 |
832000 |
29300 |
9 |
|
|
|
35200000 |
8320000 |
293000 |
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