一、目的：
制订空气过滤网更换时机标准
二、范围：
制造课洁净室适用
三、洁净室空气过滤规范：
| 滤网等级 | 滤网种类 | 规格 | 过滤效能 | 更换周期 |
| 初级 | 纸框初效空气过滤网 | 430*430*400mm | 5μm以上过滤效率30?～35? | 一个月一次 |
| 中级 | 纸框中效空气过滤网 | 430*430*400 | 5μm以上过滤效率85% | 三个月一次 |
| 高级 | 高效空气过滤网 | 530*925*70
595*940*70 320*320*220 484*484*220 1170*570*70 520*915*70 |
5μm以上过滤效率99.97% | 六个月一次 |
备注：
1.洁净室过滤系统设备尺寸规格有所不同,所以同等级空气过滤网其尺寸规格也有所不同,若要更换须依照设备尺寸作更换
2.5μm读作（miu）微米
